电光装置、电光装置的制造方法、电光单元及电子设备的制造方法
【专利摘要】本发明提供电光装置、电光装置的制造方法、电光单元及电子设备。在电光装置中，光透过盖并入射至镜，由镜反射的光会透过盖(75)而射出。在此，盖具有第一透光板和与第一透光板相对的第二透光板，并通过隔离片在第一透光板与第二透光板之间设置向第一方向的两侧开口的间隙。因此，通过使空气等流体在间隙中流通，从而能够提高盖中的散热性。
【专利说明】
电光装置、电光装置的制造方法、电光单元及电子设备
技术领域
[0001]本发明涉及具备镜的电光装置、电光装置的制造方法、电光单元以及电子设备。
【背景技术】
[0002]作为电子设备，例如，已知有投影型显示装置等，将从光源射出的光由被称为dmd(数字微镜元件)的电光装置的多个镜(微镜)进行调制后，通过投影光学系统放大并投影调制光，从而在屏幕上显示图像。例如，如图13所示，这样的投影型显示装置等使用的电光装置具备:在一个面is设置有镜50的元件基板i在俯视观察中以包围镜50的方式粘接在元件基板i的一个面is侧的框架部61，以及被框架部61的元件基板i的相反侧的端部支承的板状的透光性盖71。此外，电光装置例如具有支承基板90，所述支承基板90形成有被侧壁92包围的凹状的基板安装部93，并且元件基板i通过粘接剂97固定在基板安装部93的底部后，通过设置在基板安装部93的密封树脂98所密封。
[0003]在这样的构成的电光装置中，光透过透光性盖71而入射至镜50，并且被镜50反射的光透过透光性盖71而射出。此时，照射到透光性盖71和元件基板i的一个面is的光由于其原因有时会使元件基板i等温度上升。这样的温度上升会引起电光装置的误动作或寿命降低，因此不优选。
[0004]另一方面，作为提高安装在支承基板90的设备的散热性的方法，提出了扩大装置与密封树脂的接触面积的技术。(参照专利文献i)。例如，如图13所示，密封树脂98的表面构成在比支承基板90的侧壁92高的位置与透光性盖71相接。根据这种结构，能够提高从透光性盖71向密封树脂98导热的传导效率。
[0005]然而，根据图13中所示的结构，即使提高了从透光性盖71向密封树脂98导热的传导效率，由于密封树脂98本身的导热传导效率低，因此也存在无法充分地抑制元件基板i的温度上升的问题点。
[0006]鉴于以上问题点，本发明的技术问题在于提供能够抑制设置有镜的元件基板等的温度上升的电光装置、电光装置的制造方法、电光单元以及电子设备。
[0007]在先专利文献
[0008]专利文献
[0009]专利文献1:美国专利us 7,898,724 b2
【发明内容】
[0010]为了解决上述技术问题，本发明的电光装置的一个方式的特征在于，具有:元件基板，在所述元件基板的第一面侧设有镜和驱动所述镜的驱动元件；以及盖，设于所述第一面侧，配置成所述镜位于所述元件基板与所述盖之间，所述盖具有:第一透光板，具有透光性；第二透光板，具有透光性，配置为所述第一透光板位于所述镜与所述第二透光板之间；以及隔离片，介于所述第一透光板与所述第二透光板之间，并在所述第一透光板与所述第二透光板之间设有朝向与所述第一透光板和所述第二透光板相对的厚度方向交叉的第一方向的两侧开口的间隙。
[0011]在本发明的电光装置中，光透过盖并入射至镜，并且被镜反射的光透过盖而射出。此时，照射到盖和元件基板的一个面的光由于其原因使元件基板等的温度上升。在此，在盖中通过隔离片在第一透光板与第二透光板之间设置向第一方向的两侧开口的间隙。因此，通过使空气等流体在间隙中流通，能够提高盖等的散热性。因此，即使在照射的光等由于其原因元件基板等的温度会上升时，也能够抑制元件基板等的温度上升。因此，能够抑制电光装置的误动作和寿命降低。
[0012]另外，在本发明中，所述隔离片优选为与所述第二透光板一体地构成。根据这种结构，能够提高装配电光装置的工作效率。
[0013]在本发明中，所述隔离片能采用以下结构:所述隔离片包括沿所述第一方向延伸的第一隔离片、和相对于所述第一隔离片在与所述第一隔离片在第二方向上分开的位置上沿所述第一方向延伸的第二隔离片，其中，所述第二方向与所述厚度方向和所述第一方向交叉，所述间隙在所述第一隔离片与所述第二隔离片之间向所述第一方向的两侧开口。根据这样的结构，使空气等流体在间隙流通时，不会发生流体向第二方向的泄漏，因此在间隙内的流速很快。因此，能够提高盖中的散热性。
[0014]在本发明中，所述第一隔离片和所述第二隔离片优选为沿位于所述第一透光板中所述第二方向的两侧的端部向所述第一方向延伸。根据这样的结构，使空气等的流体在间隙中流通时，能够扩大第一透光板与流体的接触面积。因此，能够提高盖中的散热性。
[0015]在本发明的电光装置中，所述电光装置优选为具备用于相对于所述间隙从所述第一方向的一侧向所述间隙供给空气的鼓风装置。另外，在本发明中，也可以作为所述电光装置和所述鼓风装置被保持器支承的电光单元来构成。根据这种结构，由于能够可靠地使空气通过第一透光板与第二透光板之间的间隙，因此能够提高盖中的散热性。
[0016]在这种情况下，所述电光装置还具有搭载所述元件基板的支承基板，
[0017]所述支承基板具备:搭载所述元件基板的底板部、相对于所述元件基板在所述第一方向的所述一侧从所述底板部向搭载所述元件基板的一侧突出的第一侧壁、和相对于所述元件基板在所述第一方向的另一侧从所述底板部向搭载所述元件基板的一侧突出的第二侧壁，所述第一侧壁优选为距离所述底板部的高度高于所述第二侧壁距离所述底板部的高度。根据这种结构，越过第一侧壁的空气在第一侧壁的内侧环绕而容易流向间隙。因此，能够提高盖中的散热性。
[0018]本发明的电光装置的一个方式的特征在于，具有:具有:元件基板，在所述元件基板的第一面侧设有镜和驱动所述镜的驱动元件；以及盖，设于所述第一面侧，配置成所述镜位于所述元件基板与所述盖之间，所述盖具有:第一透光板，具有透光性;第二透光板，具有透光性，配置为所述第一透光板位于所述镜与所述第二透光板之间；以及隔离片，位于所述第一透光板与所述第二透光板之间，具有沿第一方向延伸的第一隔离片、和相对于所述第一隔离片在与所述第一隔离片在第二方向上分开的位置上沿所述第一方向延伸的第二隔离片，其中，所述第二方向与所述第一方向交叉，并且所述隔离片设置为遮蔽在所述第一方向上的所述第一透光板的第一端部的至少一部分、且遮蔽在所述第一方向上与所述第一透光板的所述第一端部相对的第二端部的至少一部分。
[0019]在本发明的电光装置中，光透过盖并入射至镜，并且被镜所反射的光透过盖而射出。此时，照射到盖和元件基板的一个面的光由于其原因使元件基板等的温度上升。在此，在盖中通过隔离片在第一透光板与第二透光板之间设置向第一方向的两侧开口的间隙。因此，通过使空气等流体在间隙中流通，能够提高盖等的散热性。因此，即使在照射的光等由于其原因使元件基板等的温度上升时，也能抑制元件基板等的温度上升。因此，能够抑制电光装置的误动作和寿命降低。
[0020]在本发明的电光装置的制造方法的一个方式中，其特征在于，具有:第一晶圆准备工序，准备在第一面侧设置有镜和驱动所述镜的驱动元件的第一晶圆；层叠晶圆形成工序，形成使具有透光性的第二晶圆与具有透光性的第三晶圆隔着隔离片重叠并粘接而成的、在所述第二晶圆的与所述第三晶圆相对的面的相反侧的第二面形成有凹部的层叠晶圆；粘接工序，以在俯视观察中所述镜和所述驱动元件与所述凹部重叠的方式，使所述第一晶圆的所述第一面与所述第二晶圆的所述第二面重叠并粘接；以及分割工序，从所述第一晶圆和所述层叠晶圆分割设置有所述镜和所述驱动元件的部分。
[0021]在本发明中，在所述层叠晶圆形成工序中，优选为例如，将所述隔离片一体地形成于所述第三晶圆后，在所述第三晶圆的形成有所述隔离片的一侧重叠并粘接构成所述第二晶圆的与所述第二面相反一侧的第三面侧的、具有透光性的第四晶圆，并将构成所述第二晶圆的所述第二面侧的、具有透光性的第五晶圆重叠并粘接在所述第四晶圆，并且在所述第五晶圆预先形成用于构成所述凹部的贯通孔。
[0022]适用了本发明的电光装置或电光单元能够用于各种电子设备，在这种情况，电子设备设置有向所述镜照射光源光的光源部。此外，在作为电子设备构成投影型显示装置的情况下，电子机器设置有将由所述镜调制的光进行投影的投影光学系统。
【附图说明】
[0023]图1是示出适用了本发明的作为电子设备的投影型显示装置的光学系统的示意图。
[0024]图2的(a)、(b)是示意性地示出适用了本发明的电光装置的基本结构的说明图。
[0025]图3的(a)、(b)是示意性地示出适用了本发明的电光装置的基本结构的说明图。
[0026]图4是本发明的实施方式一的电光装置的俯视图。
[0027]图5的(a)、(b)是本发明的实施方式一的电光装置的截面图。
[0028]图6的(a)至(d)是示出本发明的实施方式一的电光装置的制造方法的工序截面图。
[0029]图7的(a)、(b)是示出本发明的实施方式一的电光装置的制造所用的第一晶圆等的制造方法的工序图。
[0030]图8的(a)至(f)是示出本发明的实施方式一的电光装置的制造所用的层叠晶圆等的制造方法的工序图。
[0031]图9的(a)至(c)是示出本发明的实施方式一的电光装置的制造工序中利用支承基板及密封树脂对元件基板进行密封的工序的工序截面图。
[0032]图10是本发明的实施方式二的电光装置的俯视图。
[0033]图11的(a)、(b)是本发明的实施方式二的电光装置的截面图。
[0034]图12是本发明的实施方式三的电光装置的截面图。
[0035]图13是本发明的参考例的电光装置的截面图。
[0036]符号说明:
[0037]i元件基板；is—个面(第一面)；10第一晶圆；1s—个面(第一面)；11基板侧偏压电极；17端子;20第二晶圆；20s第二面;20t第三面;21凹部；30驱动元件;32、33高架寻址电极；35铰链;40第四晶圆；50镜；51镜筒;60第五晶圆；61框架部；66贯通孔；70层叠晶圆；75盖;76第一透光板;77第二透光板;78隔离片；79间隙；80第三晶圆；90支承基板;92侧壁;98密封树脂；100电光装置；10s层叠体；180保持器；190鼓风装置;761、762第一透光板的端部;771、772第二透光板的端部;781第一隔离片;782第二隔离片;921第一侧壁;922第二侧壁；1000投影型显示装置(电子设备)；1002光源部；1004投影光学系统；1030滤色器;xl、y2第一方向;xla、y2a第一方向的一侧;χ2、υ1第二方向；z厚度方向
【具体实施方式】
[0038]参照附图，对本发明的实施方式进行说明。此外，在以下的说明中，对作为适用了本发明的电子设备的投影型显示装置进行说明。另外，在以下说明中参照的附图中，将各层、各部件设定为在附图上可识别程度的大小，所以对应各层、各部件各自的比例尺不同。附图所示的镜等的数量设定为在附图上可识别程度的大小，但也可以设定比在该图示的数量多的镜等。此外，在下面的实施方式中，例如在记载为“配置在第一面侧”的情况可以包括:被配置为与第一面相接的情况或通过其他结构物配置在第一面的情况、或者配置为其一部分与第一面相接且一部分隔着其他结构物配置在第一面的情况。
[0039]实施方式一
[0040]作为电子设备的投影型显示装置
[0041]图1是示出适用了本发明的作为电子设备的投影型显示装置的光学系统的示意图。图1是示出投影型显示装置1000具有光源部1002、将从光源部1002射出的光根据图像信息进行调制的电光装置100、以及将由电光装置100调制的光作为投影图像投影在屏幕等的被投影物1100的投影光学系统1004。光源部1002具备光源1020和滤色器1030。光源1020射出白光，滤色器1030随着旋转射出每种颜色的光，电光装置100在与滤色器1030的旋转同步的定时(timing)对入射光进行调制。此外，也可以使用将从光源1020射出的光转换为各种颜色的光的荧光体基板来代替滤色器1030。此外，也可以对应各种颜色的光设置光源部1002及电光装置100。
[0042]电光装置100的基本结构
[0043]图2是示意性地示出适用了本发明的电光装置100的基本结构的说明图，并图2的(a)、(b)分别是示出电光装置100的主要部分的说明图以及电光装置100的主要部分的分解立体图。图3是示意性地示出适用了本发明的电光装置100的主要部分中的a-a’截面的说明图，图3的(a)、(b)分别是示意性地示出镜向一侧倾斜的状态的说明图以及示意性地示出镜向另一侧倾斜的状态的说明图。
[0044]如图2及图3所示，电光装置100的元件基板i的一个面is(第一面)侧将多个镜50配置成矩阵状，镜50与元件基板i分开。元件基板i例如是硅基板。镜50例如是具有一边长例如为ιομπι?30μπι的平面尺寸的微镜。镜50例如是以从800 x 600到1028 x 1024的排列来配置，
一个镜50对应图像的一个像素。
[0045]镜50的表面是由铝等反射金属膜构成的反射面。电光装置100具备包括在元件基板i的一个面is形成的基板侧偏压电极11以及基板侧地址电极12、13等的一阶部分100a，包括高架寻址电极32、33以及铰链(hinge)35的二阶部分100b，以及包括镜50的三阶部分100c。在一阶部分10a中，地址指定电路14被形成在元件基板i上。地址指定电路14具备用于选择性地控制各镜50的动作的存储单元或字线、位线的配线15等，并具有类似于具备了cmos电路16的ram(random access memory:随机存取存储器)的电路结构。
[0046]二阶部分10b包括高架寻址电极32、33、铰链35以及镜筒(post)51。高架寻址电极32、33经由电极筒321、331与基板侧地址电极12、13导通，同时被基板侧地址电极12、13支承。铰链臂36、37从铰链35的两端延伸。铰链臂36、37经由臂筒39与基板侧偏压电极11导通的同时，并被基板侧偏压电极11支承。镜50经由镜筒51与铰链35导通，同时被铰链3、支承。因此，镜50经由镜筒51、铰链35、铰链臂36和37以及臂筒39与基板侧偏压电极11导通，且被基地侧偏压电极11施加偏压。此外，在铰链臂36、37的前端形成挡块361、362、371、372，以防止当镜50倾斜时抵接，使镜50与高架寻址电极32、33接触。
[0047]高架寻址电极32、33构成驱动元件30，所述驱动元件30用于进行驱动以使与镜50之间产生静电力来倾斜镜50。另外，基板侧地址电极12、13有时也构成来进行驱动以使与镜50之间产生静电力来倾斜镜50，在这种情况下，驱动元件30由高架寻址电极32、33及基板侧地址电极12、13构成。铰链35对高架寻址电极32、33施加驱动电压，如图3所示，在镜50被向高架寻址电极32或高架寻址电极33拉近而倾斜时扭曲，停止向高架寻址电极32/33施加驱动电压，对镜50的吸引力消失时，发挥将镜50恢复为与元件基板i平行姿势的力。
[0048]在电光装置100中，例如，如图3的(a)所示，如果镜50向一侧的高架寻址电极32侧倾斜，则成为从光源部1002射出的光通过镜50向投影光学系统1004反射的连通(on)状态。与此相对，如图3的(b)所示，如果镜50向另一侧的高架寻址电极33侧倾斜，则成为从光源部1002射出的光通过镜50向光吸收装置1005反射的遮断(off)状态，在这种遮断状态下，光不向投影光学系统1004反射。通过多个反射镜50中的每个镜进行上述驱动，其结果是，从光源部1002射出的光通过多个镜50被调制为图像光，从投影光学系统1004被投影，显示图像。。
[0049]此外，与基板侧地址电极12、13相对的平板状的轭铁与铰链35设为一体，除在高架寻址电极32、33与镜50之间产生的静电力以外，在基板侧地址电极12、13和轭铁之间作用的静电力也有时驱动镜50。
[0050]电光装置100的整体结构
[0051]图4是本发明的实施方式一的电光装置100的俯视图。图5是本发明的实施方式一的电光装置100的截面图，且图5的(a)是图4的a卜al’截面图，图5的(b)是图4的m-b1’截面图。
[0052]如图4和图5所示，在本实施方式的电光装置100中，形成有多个参照图2和图3而说明的镜50等的元件基板i的一个面is由包围镜50周围的框架部61和平板状的盖75而密封。需要说明的是，在俯视观察中(例如从元件基板i的一个面is侧观察时的俯视观察中)框架部61形成为包围镜50。此外，电光装置100具备由陶瓷基板构成的支承基板90，元件基板i固定于支承基板90的凹状的基板安装部93，然后利用环氧类等的密封树脂90进行密封。在支承基板90中，基板安装部93是被侧壁92包围的有底的凹部，元件基板i被粘接剂97固定在支承基板90的底板部91。在本实施方式中，使用热传导性高的氮化铝类的基板作为支承基板90。作为粘接剂97使用银膏等热传导性高的金属类粘接剂。
[0053]在此，与框架部61的元件基板i相对的一侧的端部61e粘接于元件基板i的一个面is。盖75粘接于与框架部61的端部61e相反一侧的端部61f，并被端部61f支承。在该状态下，盖75相对于镜50在隔着预定距离的位置与镜50的表面相对。换言之，盖75设置在元件基板i的一个面is侧，且配置为镜50位于元件基板i与盖75之间。因此，光透过盖75并入射至镜50后，被镜50反射的光会透过盖75并射出。在本实施方式中，盖75由玻璃制成。框架部61可以是玻璃制造、娃制造、金属制造、陶瓷制造或树脂制造中的任一种，在本实施方式中，玻璃基板和硅基板用作框架部61。
[0054]在元件基板i的一个面is上，在不与镜50重叠的端部(靠框架部61的外侧)形成有多个端子17。在本实施方式中，端子17配置成两列使得夹着镜50。多个端子17的一部分经由参照图2及图3而说明的地址指定电路14和基板侧地址电极12、13与高架寻址电极32、33(驱动元件30)电连接。多个端子17的另一部分经由参照图2及图3所说明的地址指定电路14、基板侧偏压电极11及铰链35与镜50电连接。多个端子17的再一部分与设置在参照图2及图3而说明的地址指定电路14前段的驱动电路等电连接。
[0055]在此，由于元件基板i的相反侧是开放状态，因此端子17通过引线键合(wirebonding)用的引线99与形成于支承基板90的底板部91在元件基板i侧的内面91s上的内部电极94电连接。支承基板90的底板部91是多层布线基板，内部电极94经由形成于底板部91的通孔和布线所构成的多层布线部95而与形成于底板部91的与元件基板i的相反侧的外表面91t上的外部电极96导通。
[0056]该支承基板90的侧壁92的内侧(凹部)设置有密封树脂98。密封树脂98覆盖元件基板i的周围以及框架部61的周围，同时覆盖盖75的侧面至厚度方向的中途。
[0057]盖75等的结构
[0058]在本实施方式的电光装置100中，支承基板90、元件基板i以及盖75都具有长方形的平面形状。因此，在下面的说明中，在长方形的平面形状中，设长边延伸的方向是第一方向xl，短边延伸的方向为第二方向yl来进行说明。
[0059]在本实施方式的电光装置100中，盖75具有从元件基板i的相反侧与镜50相对的第一透光板76、和相对于第一透光板76在镜50的相反一侧50相对的第二透光板77。另外，第二透光板77配置为第一透光板76位于镜50与第二透光板77之间。此外，第一透光板76具有透光性，且第二透光板77具有透光性。此外，盖75具有在第一透光板76与第二透光板板77之间的隔离片78。隔离片78设置在与镜50在俯视观察中(例如从一个面is侧观察元件基板i时的俯视观察中)不重叠的位置，并且通过隔离片78在第一透光板76与第二透光板77之间构成间隙79 ο此外，密封树脂98的表面以使不堵塞间隙79的高度位置的方式来设置密封树脂98。
[0060]在本实施方式中，隔离片78由与第二透光板77—体形成的凸部构成。因此，第一透光板76通过与隔离片78的第一透光板76侧的端部粘接而与第二透光板77层叠。
[0061]间隙79朝向与第一透光板76和第二透光板77相对的厚度方向z交叉的第一方向xl的两侧开口。更具体而言，隔离片78包括沿第一方向xl延伸的第一隔离片781、和相对于第一隔离片781在与第一隔离片781在第二方向yl上分开的位置上沿第一方向xl延伸的第二隔离片782。因此，间隙79在第一隔离片781与第二隔离片782之间向第一方向xl的两侧开口。另外，第一隔离片781和第二隔离片782设置成遮蔽(避时0)第一透光板76在第一方向xl上的一侧的端部(第一端部)的至少一部分、和遮蔽第一透光板76在第一方向xl上的另一侧的端部(第二端部)的至少一部分。
[0062]第一隔离片781和第二隔离片782分别沿在第一透光板76中位于第二方向yl的两侦叭短边方向的两侧)的端部761、762向第一方向xl延伸。在本实施方式中，第一透光板76与第二透光板77是在后述的制造工序中从晶圆同时切断的部分。因此，第一透光板76与第二透光板板77以同样的尺寸和同样的形状重叠。因此，第一隔离片781和第二隔离片782会沿着在第二透光板77中位于第二方向yl的两侧(短边方向的两侧)的端部771、772向第一方向xl延伸。
[0063]如图4所示，在本实施方式的电光装置100中，在靠支承基板90的外侧设置有由从第一方向xl的一侧xla向间隙79供给空气的鼓风风扇等构成的鼓风装置190，支承基板90和鼓风装置190被保持器180支承。因此，从鼓风装置190向间隙79供给的空气流，如图5的(b)中的箭头所示，越过支承基板90的侧壁92从第一方向xl的一侧xla流入间隙79，通过间隙79后从第一方向xl的另一侧xlb流出。
[0064]本实施方式的主要效果
[0065]如上所述，在本发明的电光装置100中，光透过盖75并入射至镜50，并被镜50反射的光透过盖75并射出。此时，照射到盖75和元件基板i的一个面is的光由于其原因会使元件基板i和盖75的温度上升。在此，在盖75中，通过隔离片78设置在第一透光板76与第二透光板77之间朝向第一方向xl的两侧开口的间隙79。因此，通过使空气等流体在间隙79中流通，而能够提高在盖75中的散热性。例如从鼓风装置190向间隙79供给的空气流，如图5的(b)中的箭头c所示，当越过支承基板90的侧壁92从第一方向xl的一侧流入间隙79并通过间隙79时，会从盖75带走热。因此，即使在照射的光等使元件基板i等的温度上升时，也能够抑制元件基板i等的温度上升。因此，能够抑制电光装置100的误动作和寿命降低。
[0066]另外，由于隔离片78是与第二透光板77—体地构成的，因此能够提高装配电光装置100的工作效率。
[0067]另外，隔离片78由在第二方向yl上分开(離間)的位置向第一方向xl延伸的第一隔离片781和第二隔离片782构成。因此，当空气流通过间隙79时，空气流不会从间隙79向第二方向yl泄漏。因此，由于在间隙79内的空气流的流速快，因此能够提高在盖75中的散热性。
[0068]另外，第一隔离片781和第二隔离片782沿在第一透光板76中位于第二方向yl的两侧的端部761、762向第一方向xl延伸。因此，由于间隙79的平面面积大，因此在使空气流通过间隙79时，能够扩大盖75与空气流的接触面积。因此，能够提高盖75中的散热性。
[0069]另外，电光装置100具备对间隙79从第一方向xl的一侧xla向间隙79供给空气的鼓风装置190。因此，由于能够可靠地使空气通过第一透光板76与第二透光板77之间的间隙79，因此能提高盖75中的散热性。
[0070]并且，间隙79向盖75的长边方向开口。因此，由于空气流在流通间隙79时的流速快，因此能够提高盖75中的散热性。
[0071]电光装置100的制造方法
[0072]参照图6、图7、图8及图9，对本发明的实施方式一的电光装置100的制造方法进行说明。图6是示出本发明的实施方式一的电光装置100的制造方法的工序截面图。图7是示出本发明的实施方式一的电光装置100的制造所用的第一晶圆等的制造方法的工序图。图8是示出本发明的实施方式一的电光装置100的制造所用的层叠晶圆等的制造方法的工序图。图9是示出本发明的实施方式一的电光装置100的制造工序中利用支承基板90和密封树脂98对元件基板i进行密封的工序的工序截面图。此外，在图7和图8中，示出各工序中的晶圆的俯视图，并且在俯视图的下段示出切断端面图。另外，在图7的(b)中省略镜等的图示，而在图8等中，省略驱动元件30等的图示的同时，并示出了减少镜50的数量以三个镜50形成一个元件基板i的情况。
[0073]为了制造本实施方式的电光装置100，如图6的(a)以及图7的(b)所示，在第一晶圆准备工序中，准备第一晶圆10，对于能够获取多个元件基板i的大型第一晶圆10的一个面1s(第一面)在分割元件基板i的区域的各自形成镜50和端子17的同时，并在与镜50在俯视观察中重叠的位置上形成驱动镜50的驱动元件30 (参照图2及图3)。例如如图6的(a)及图7的(a)、(b)所示，也可以通过对于能够获取多个元件基板i的大型第一晶圆10的一个面1s(第一面)，在每个分割元件基板i的区域形成镜50的同时，并在与镜50在俯视观察中重叠的位置上，形成驱动镜50的驱动元件30(参照图2及图3)。
[0074]另外，如图6的(a)中，在层置晶圆形成工序中，形成层置晶圆70，所述层置晶圆由透光性的第二晶圆20与透光性的第三晶圆80隔着隔离片78而层叠的同时，并在第二晶圆20与第三晶圆80相对的面的相反一侧的第二面20s上形成有凹部21。
[0075]在此，在层叠晶圆形成工序中，例如，如图8的(a)、(b)所示，在能够获取多个第二透光板77的大型第三晶圆80—体地形成隔离片78。另外，如图8的(c)所示，将构成第二晶圆20的与第二面20s的相反一侧的第三面20t侧的透光性的第四晶圆40(参照图8的(d))重叠并粘接于在第三晶圆80的形成有隔离片78的一侧，并将构成第二晶圆20的第二面20s侧的透光性的第五晶圆60(参照图8的(c)、(f))重叠并粘接于第四晶圆40，从而构成层叠晶圆70。在此，通过蚀刻等预先在第五晶圆60形成用于构成凹部21的贯通孔66(参照图8的(f))。该贯通孔66的一边的开口被第四晶圆40封闭而形成凹部21。在本实施方式中，将第四晶圆40重叠并粘接于第三晶圆80后，将第五晶圆60重叠并粘接于第四晶圆40。但是，在将第五晶圆60重叠并粘接于第四晶圆40后，也可以将第三晶圆80重叠并粘接于第五晶圆60。
[0076]接着，在图6的(b)所示的粘接工序中，粘接第一晶圆10的一个面ios和第二晶圆20的第二面20s，使凹部21在俯视观察中与镜50重叠。
[0077]接着，在图6的(c)、(d)所示的分割工序中，将第一晶圆10与层叠晶圆70构成的层叠体130进行分割，得到将盖75被重叠并固定于具备镜50的元件基板i的部分作为单个尺寸(単品f彳x')的层叠体100s。
[0078]在这样的分割工序中，首先，在图6的(c)所示的第二晶圆切割工序中，使第二晶圆用切割刀片82从第三晶圆80—侧进入到层叠晶圆70来切割层叠晶片70。其结果是，层叠晶圆70被分割，从而构成盖75。此时，由从第五晶圆60被分割的框架部分构成框架部61，由从第四晶圆40被分割的平板部分构成第一透光板76，由从第三晶圆80被分割的平板部分构成第二透光板77。
[0079]接着，在图6的(d)所示的第一晶圆切割工序中，使第一晶圆用切割刀片81对第一晶圆10从层叠晶圆70—侧，进入到层叠晶圆70的切断部分来切割第一晶圆10。其结果是，制造出多个形成有多个镜50的元件基板i的一个面is被框架部61以及盖75密封的层叠体100s。此外，在本实施方式中，虽然使用了圆形形状的晶圆，但对于其平面形状而言，也可以是矩形等形状。
[0080]对于通过上述工序所得到的层叠体10s进行图5所示的通过支承基板90和密封树脂90的密封，需要进行图9所示的工序。
[0081]首先，如图9的(a)所示，在准备了基板安装部93变为被侧壁92包围的凹部的支承基板90后，如图9的(b)所示，通过粘接剂97将元件基板i固定到基板安装部93的底部。接着，如图9的(c)所示，元件基板i的端子17与支承基板90的内部电极94通过引线键合用的引线99电连接。接着，如图5所示，在向支承基板90的侧壁92的内侧注入密封树脂98后，使密封树脂98固化，通过密封树脂98密封元件基板i。其结果是，能够得到元件基板i被框架部61、盖75、支承基板90以及密封树脂98密封的电光装置100。
[0082]实施方式二
[0083]图10是本发明的实施方式二的电光装置100的俯视图。图11是本发明的实施方式二的电光装置100的截面图、并且图11的(a)是图10的a2-a2’截面图，图11的(b)是图10的b2-b2’截面图。此外，由于本实施方式的基本结构与参照图4及图5等来说明的实施方式一相同，因此对共同的部分标注相同的符号并省略对其的说明。
[0084]在图10及图11所示的电光装置100中，支承基板90、元件基板i以及盖75都具有长方形的平面形状。因此，在下面的说明中，在长方形的平面形状中，设短边延伸的方向是第一方向y2、设长边延伸的方向为第二方向x2来进行说明。
[0085]在本实施方式的电光装置100中，也与实施方式一同样地，盖75具有从元件基板i的相反侧与镜50相对的第一透光板76、和相对于第一透光板76在镜50的相反一侧相对的第二透光板77。此外，盖75具有在第一透光板76与第二透光板板77之间的隔离片78。在此，隔离片78设置在与镜50在俯视观察中不重叠的位置，并通过隔离片78在第一透光板76与第二透光板77之间构成间隙79。隔离片78由与第二透光板77—体形成的凸部构成。
[0086]在此，在实施方式一中，间隙79向盖75的长边的延伸方向开口，然而本实施方式中，间隙79向盖75的短边的延伸方向开口。更具体而言，隔离片78包括向第一方向y2延伸的第一隔离片781，以及相对于第一隔离片781在第二方向x2上分开第一隔离片781的位置向第一方向y2延伸的第二隔离片782。因此，间隙79在第一隔离片781与第二隔离片782之间向第一方向y2的两侧开口。另外，电光装置100具备对间隙79从第一方向y2的一侧y2a向间隙79供给空气的鼓风装置190。在这样构成的情况下，通过使空气等流体在间隙79中流通，也会发挥与实施方式一同样的，能够提高盖75中的散热性的效果。
[0087]实施方式三
[0088]图12是本发明的实施方式三的电光装置100的截面图。此外，由于本实施方式的基本结构与参照图4及图5等来说明的结构相同，因此对共同的部分标注相同的符号并省略对其的说明。
[0089]在参照图4及图5等说明的实施方式中，在支承基板90上形成的侧壁92的任一个位置的高度都相同。与此相对地，在本实施方式中，如图12所示，在侧壁92当中，位于供给来空气流(箭头c)的第一方向xl的一侧xla的第一侧壁921距离底板部91的高度高于位于供给来空气流(箭头c)的一侧的相反侧(第一方向xl的另一侧xlb)的第二侧壁922距离底板部91的高度。
[0090]因此，如图12的箭头c所示，越过第一侧壁921的空气流在第一侧壁921的内侧剧烈地环绕而容易流向间隙79。因此，能够提高盖75中的散热性。这样的结构也可以适用于参照图10及图11而说明的实施方式。
[0091 ]其他实施方式
[0092]在上述的实施方式中，即使隔离片78沿相对的两边来配置，但也可以采用隔离片78而配置在四角形的四个角的方式。
[0093]在上述的实施方式中，即使电光装置100设置有鼓风装置190，在图4和图10中，由元件基板i等被支承基板90支承的电光装置和鼓风装置190构成电光单元，并且在这种电光单元中，也可以是元件基板i被支承基板90支承的电光装置和鼓风装置被保持器180保持的结构。这样的结构的电光单元被固定到图1所示的投影型显示装置1000的壳体等来使用。
[0094]此外，在上述的实施方式中，即使隔离片78与第二透光板77形成为一体，但也可以采用隔离片78与第一透光板76形成为一体的结构。另外，隔离片78可以独立于第二透光板77及第一透光板76，而这样的结构能够通过将形成隔离片78的其他晶圆重叠并粘接到第三晶圆80来实现。
【主权项】
1.一种电光装置，其特征在于， 具有: 元件基板，在所述元件基板的第一面侧设有镜和驱动所述镜的驱动元件；以及 盖，设于所述第一面侧，配置成所述镜位于所述元件基板与所述盖之间， 所述盖具有: 第一透光板，具有透光性； 第二透光板，具有透光性，配置为所述第一透光板位于所述镜与所述第二透光板之间；以及 隔离片，介于所述第一透光板与所述第二透光板之间，并在所述第一透光板与所述第二透光板之间设有朝向与所述第一透光板和所述第二透光板相对的厚度方向交叉的第一方向的两侧开口的间隙。2.根据权利要求1所述的电光装置，其特征在于， 所述隔离片与所述第二透光板一体地构成。3.根据权利要求1或2所述的电光装置，其特征在于， 所述隔离片包括: 第一隔离片，沿所述第一方向延伸；以及 第二隔离片，相对于所述第一隔离片在与所述第一隔离片在第二方向上分开的位置上沿所述第一方向延伸，其中，所述第二方向与所述厚度方向和所述第一方向交叉， 所述间隙在所述第一隔离片与所述第二隔离片之间向所述第一方向的两侧开口。4.根据权利要求3所述的电光装置，其特征在于， 所述第一隔离片和所述第二隔离片沿位于所述第一透光板中所述第二方向的两侧的端部向所述第一方向延伸。5.根据权利要求1至4中任一项所述的电光装置，其特征在于， 所述电光装置还具备鼓风装置，用于相对于所述间隙从所述第一方向的一侧向所述间隙供给空气。6.根据权利要求5所述的电光装置，其特征在于， 所述电光装置还具有搭载所述元件基板的支承基板， 所述支承基板具备:搭载所述元件基板的底板部、相对于所述元件基板在所述第一方向的所述一侧从所述底板部向搭载所述元件基板的一侧突出的第一侧壁、和相对于所述元件基板在所述第一方向的另一侧从所述底板部向搭载所述元件基板的一侧突出的第二侧壁， 所述第一侧壁距离所述底板部的高度高于所述第二侧壁距离所述底板部的高度。7.—种电光装置，其特征在于， 具有: 元件基板，在所述元件基板的第一面侧设有镜和驱动所述镜的驱动元件；以及 盖，设于所述第一面侧，配置成所述镜位于所述元件基板与所述盖之间， 所述盖具有: 第一透光板，具有透光性； 第二透光板，具有透光性，配置为所述第一透光板位于所述镜与所述第二透光板之间；以及 隔离片，位于所述第一透光板与所述第二透光板之间，具有沿第一方向延伸的第一隔离片、和相对于所述第一隔离片在与所述第一隔离片在第二方向上分开的位置上沿所述第一方向延伸的第二隔离片，其中，所述第二方向与所述第一方向交叉，并且所述隔离片设置为遮蔽在所述第一方向上的所述第一透光板的第一端部的至少一部分、且遮蔽在所述第一方向上与所述第一透光板的所述第一端部相对的第二端部的至少一部分。8.一种电光装置的制造方法，其特征在于， 具有: 第一晶圆准备工序，准备在第一面侧设置有镜和驱动所述镜的驱动元件的第一晶圆；层叠晶圆形成工序，形成使具有透光性的第二晶圆与具有透光性的第三晶圆隔着隔离片重叠并粘接而成的、在所述第二晶圆的与所述第三晶圆相对的面的相反侧的第二面形成有凹部的层置晶圆； 粘接工序，以在俯视观察中所述镜和所述驱动元件与所述凹部重叠的方式，使所述第一晶圆的所述第一面与所述第二晶圆的所述第二面重叠并粘接;以及 分割工序，从所述第一晶圆和所述层叠晶圆分割设置有所述镜和所述驱动元件的部分。9.根据权利要求8所述的电光装置的制造方法，其特征在于， 在所述层叠晶圆形成工序中，将所述隔离片一体地形成于所述第三晶圆后，在所述第三晶圆的形成有所述隔离片的一侧重叠并粘接构成所述第二晶圆的与所述第二面相反一侧的第三面侧的、具有透光性的第四晶圆，并将构成所述第二晶圆的所述第二面侧的、具有透光性的第五晶圆重叠并粘接在所述第四晶圆，并且在所述第五晶圆预先形成用于构成所述凹部的贯通孔。10.一种电光单元，其特征在于， 具有: 电光装置； 鼓风装置，对所述电光装置供给空气；以及 保持器，支承所述电光装置和所述鼓风装置， 所述电光装置具有: 元件基板，在所述元件基板的第一面侧设置有镜和驱动所述镜的驱动元件；以及 盖，设于所述第一面侧，配置成所述镜位于所述元件基板与所述盖之间， 所述盖具有: 第一透光板，具有透光性； 第二透光板，具有透光性，配置为所述第一透光板位于所述镜与所述第二透光板之间；以及 隔离片，在俯视观察中不与所述镜重叠的位置上介于所述第一透光板与所述第二透光板之间，并在所述第一透光板与所述第二透光板之间设有朝向与所述第一透光板和所述第二透光板相对的厚度方向交叉的第一方向的两侧开口的间隙。11.一种电子设备，其特征在于， 该电子设备具备权利要求1至7中任一项所述的电光装置，并且，该电子设备具有向所述镜照射光源光的光源部。12.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具备权利要求10所述的电光单元，并且，该电子设备具有向所述镜照射光源光的光源部。
【文档编号】g03b21/00gk106019577sq201610162063
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年3月21日
【发明人】山崎康男
【申请人】精工爱普生株式会社