技术编号:37023305
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上属于被用来采样和分析气体和其他流体的设备的领域,所述采样和分析气体和其他流体包括在一系列洁净室和制造环境中收集样本用于检测颗粒和其他污染物。背景技术、监测气体和流体流以便确定气体或流体的组成物(composition)并且检测颗粒和微生物的存在在各种产业中非常重要。例如,在药物和半导体制造中,环境中颗粒或不期望的成分(component)的存在可能有害地影响制造过程,并且与法规要求相冲突。因此,洁净室、洁净区和洁净环境(诸如危险、有毒或易燃材料存在于其中的那些)通常用于半导体和药物...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。