技术编号:37023150
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体传输及检测设备,具体涉及一种晶圆传输系统。背景技术、随着半导体工艺水平的不断提高,前道和后道工艺设备厂对半导体自动化传输技术提出了更高更复杂的要求。而在半导体芯片制程中,晶圆是其制造的基础,通过对晶圆的研磨、光刻、刻蚀、沉积等一系列的加工工艺后,可制备具有复杂电路的微电子器件,在晶圆制造或者检测过程中对晶圆的拿取与放置成为了必要工序,而晶圆传输设备就成为了不可或缺的一部分。晶圆传输设备可对晶圆进行批量传输,其主要应用于槽式清洗设备、扩散工艺设备上的晶圆传输。、目前行业内晶圆的...
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